Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 24 (1), P. 22-25 (2021).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo24.01.022

Вплив температури дифузії на взаємодію кластерів з домішковими атомами в кремнії
З.М. Сапарніязова, К.А. Ісмайлов, А.К. Утеніязов, Х.У. Камалов

Karakalpak State University named after Berdakh,
Uzbekistan, Republic of Karakalpakstan, 230012 Nukus, Abdirov str., 1

Анотація. Наведено результати досліджень впливу температури дифузії на взаємодію кластерів атомів марганцю з атомами сірки. Показано, що електричні параметри зразків, одночасно легованих сіркою і марганцем, повністю збігаються з параметрами вихідного матеріалу, тобто якщо б вони не містили не тільки сірку і марганець, але й не утворювали термодонори. Отримані результати дозволяють виключити можливість гетерування домішкових атомів або утворення певного виду твердих розчинів з урахуванням домішкових атомів марганцю і сірки, що ускладнює їх дифузію в об’єм кристала. Встановлено, що для вихідного кремнію р-типу з питомим опором p ~ 10 Ω·см, температура дифузії 1100 °С є найбільш оптимальною для формування кластерів з максимальною участю введених атомів сірки та марганцю.

Ключові слова: кремній, домішки, температура дифузії, атоми сірки та марганцю.

Текст статті (PDF)


Назад до 24 (1)

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.