Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 25 (1), P. 058-067 (2022).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo25.01.058
Метал-стимульований хімічний синтез масивів кремнієвих нанониток: використання у хімічних сенсорах та
сонячних елементах
National Technical University of Ukraine “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”, Анотація.
У роботі досліджено вплив технологічного процесу метал-стимульованого хімічного травлення на
морфологію поверхні та електрофізичні властивості отриманих нанорозмірних структур. Було показано, що
отримані структури мають високу площу поверхні та можуть використовуватися як у сенсорах, так і у сонячних
елементах. Було продемонстровано покращення характеристик сонячних елементів у результаті використання
процесу метал-стимульованого травлення, зокрема значне підвищення струму короткого замикання (до 29 мА/см 2 ).
Також була доведена можливість детектування перекису водню та глюкози (ферментним методом) за допомогою
резистивних сенсорів з наноструктурованим кремнієм як активного шару з чутливістю до 2.5…2.75 мА/В∙%.
Ключові слова: метал-стимульоване хімічне травлення, кремнієві нанонитки, сенсор, сонячний елемент.
М.Г. Душейко, В.М. Коваль, Т.Ю. Обухова
Microelectronic department
37, prospect Peremohy, 03056 Kyiv, Ukraine
E-mail: t.y.obukhova@gmail.com; pvlab_kpi@ukr.net
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.