¹Research Center in Industrial Technologies CRTI, P.O. Box 64, Cheraga, 16014 Algiers, Algeria
²DIIES-Mediterranea University of Reggio Calabria, Reggio Calabria 89122, Italy
*Corresponding author email: f.bouzid@crti.dz

Анотація. У цій роботі оцінено вплив товщини фронтального металевого шару на електрооптичні характеристики ультрафіолетового (УФ) детектора з бар’єром Шотткі на основі нітриду галію n-типу (n-GaN) за допомогою точного моделювання приладу та чисельного моделювання. Після порівняння вольт-амперних характеристик J(V), розрахованих з використанням різних металів, було виявлено, що найбільш придатним металом для формування контакта Шотткі є платина (Pt). Отримані результати показують, що товщина фронтального платинового контакта Шотткі сильно впливає на спектральну чутливість детектора в розглянутому УФ-діапазоні 0,2…0,4 мкм. Зокрема, при кімнатній температурі чутливість детектора може досягати пікового значення 0,208 A·W–1 для довжини хвилі 0,364 мкм і напівпрозорого шару Pt товщиною всього 1 нм. Потім воно поступово зменшується зі збільшенням товщини металевого шару до 0,147 A·W–1 для Pt товщини 100 нм.

Ключові слова: нітрид галію, бар’єр Шотткі, ультрафіолетовий детектор, фотострум, чутливість.

Назад до 25 (3)