@article{Dmytruk2026Femtosecond,
  author   = {І.М. Дмитрук and Н.І. Березовська and П.А. Манорик and Н.І. Романовська and Г.П. Подуст and Є.С. Грабовський and П.С. Хорт and О.С. Кондратенко and В.Р. Романюк and С.В. Мамикін},
  title    = {Фемтосекундна лазерна обробка плівок діоксиду титану, отриманих золь-гель методом},
  journal  = {Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics},
  year     = {2026},
  volume   = {29},
  number   = {3},
  pages    = {292--301},
  doi      = {10.15407/spqeo29.03.292},
  url      = {https://doi.org/10.15407/spqeo29.03.292},
  language = {Ukrainian},
  abstract = {Здатність плівок TiO2 до самоочищення та фотокаталізу має вирішальне значення для покриттів оптичних елементів, коли вони працюють у складних навколишніх умовах. У процесі нашого дослідження вибрано оптимальний хімічний склад реакційної золь-гель суміші та умови для формування плівок TiO2 методом spin-coating. Еліпсометричні дослідження показали, що перед кальцинуванням при 450 С осаджена плівка TiO2 на склі мала товщину 247 нм та була достатньо пористою із суттєвою шорсткістю. Після кальцинування товщина плівки TiO2 зменшилась до 89 нм, а також плівка стала значно щільнішою. Подальшу модифікацію плівок TiO2 було проведено за допомогою фемтосекундних лазерних імпульсів з довжиною хвилі 800 нм. Фемтосекундна лазерна обробка плівок TiO2 привела до утворення лазерно-індукованих поверхневих елементів, зокрема наночастинок та нанотріщин. Вибрані умови фемтосекундної лазерної обробки мали на меті зберегти достатню прозорість плівки TiO2, що було досягнуто при густині енергії імпульсу опромінення 0,025 Дж/см². Оброблена лазером поверхня демонструє покращені гідрофільні властивості. Оптичні властивості плівок TiO2 на скляних підкладках, досліджені за допомогою фотолюмінесценції та раманівського розсіювання, показали, що післясинтетична обробка, включаючи фемтосекундну лазерну обробку, приводить до формування переважаючої кристалічної фази анатазу.},
  keywords = {діоксид титану, тонка плівка, золь-гель метод, фемтосекундні лазерні імпульси, лазерно-індуковані поверхневі структури, фотолюмінесценція, раманівське розсіювання}
}