@article{Zikrillaev2026Manganese,
  author   = {N.F. Zikrillaev and K.A. Ismailov and S.B. Isamov and B.K. Ismaylov and Kh.F. Zikrillaev and U.Kh. Sodikov and M.M. Shoabdurakhimova},
  title    = {Вплив міждомішкової взаємодії на концентрацію електроактивних атомів домішки марганцю в кремнії},
  journal  = {Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics},
  year     = {2026},
  volume   = {29},
  number   = {3},
  pages    = {311--316},
  doi      = {10.15407/spqeo29.03.311},
  url      = {https://doi.org/10.15407/spqeo29.03.311},
  language = {Ukrainian},
  abstract = {Досліджено вплив концентрації електроактивної домішки марганцю на міжатомні взаємодії в монокристалічному кремнії p-типу, початково легованому бором. Досліджено електрофізичні параметри зразків кремнію, що піддалися дифузійному легуванню при заданому тиску пари марганцю та подальшому термічному відпалу. Було виявлено, що майже всі атоми марганцю, що входять до складу кремнію p-типу марки KDB-1 з концентрацією бору NB ≥ 2·1016 cm–3, стають електроактивними. Для теоретичних розрахунків значення концентрації було встановлено рівним межі розчинності атомів марганцю в кремнії. Водночас, концентрація електроактивних атомів марганцю в кремнії n-типу з концентрацією фосфору NP ≈ 1016 cm–3 не перевищувала 3·1014 cm–3. Було показано, що електроактивність атомів домішки марганцю визначається не лише термодинамічними параметрами дифузії, але й типом та концентрацією початкової донорної або акцепторної домішки. Було встановлено, що атоми бору можуть виступати центрами нуклеації для нанокластерів марганцю, і ці нанокластери суттєво впливають на електричні властивості вихідного кремнію. Розроблена двостадійна низькотемпературна дифузійна технологія пригнічує утворення силіцидів та забезпечує рівномірний розподіл електроактивних атомів марганцю при максимальній концентрації. Отримані результати становлять інтерес для створення наноструктурованого кремнію із заданими електричними, фотоелектричними, оптичними та магнітними властивостями, перспективним для використання в електроніці.},
  keywords = {кремній, марганець, бор, фосфор, міждомішкова взаємодія, дифузія, концентрація електроактивної домішки, нанокластери}
}