Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 25 (4), P. 402-412 (2022).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo25.04.402
Вплив температури після відпалу на оптичні та поверхневі властивості нанокристалічних плівок ZnO, легованих телуром
1Ужгородський національний університе, 54, вул. Волошина, 88000 Ужгород, Україна Анотація.
У цій роботі досліджено вплив температури після відпалу на тонкі нанокристалічні плівки ZnO, леговані 5 ат.% телуру. Для нанесення плівок на мікроскопічну скляну підкладку використовувався метод спін-коутингу. Для характеристики структури плівок, шорсткості поверхні та оптичних властивостей використовували рентгеноструктурний аналіз, атомну силову мікроскопію та УФ-спектрофотометрію. Рентгеноструктурні спектри показали, що нанокристалічні плівки мають монокристалічну природу. Атомна силова мікроскопія підтвердила нанокристалічний характер ZnO, легованого телуром. Пропускання експонованих плівок зменшилося зі збільшенням температури відпалу. Виявлено, що середня пропускна здатність усіх плівок перевищує 80%. Ширина забороненої зони незначно змінюється залежно від температури після відпалу.
Ключові слова:золь-гель, нанокристалічні плівки, температура відпалу, атомна силова мікроскопія.
M.I. Maр’ян1, Н.В. Юркович1, V. Seben2
2University of Presov, 1, 17 November str., 08116 Presov, Slovakia
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.