Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 22 (1), P. 098-103 (2019).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo22.01.098


Плівки оксиду графену сформовані методом ультразвукового спрей-піролізу для газових сенсорів
О.М. Слободян1*, Ю.С. Мілованов2, В.А. Скришевський2, А.В. Васін1, X. Tang3, J.-P. Raskin3, П.М. Литвин1, К.В. Свеженцова1, С.В. Малюта1, А.Н. Назаров1

1Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, 41, проспект Науки, 03680 Київ, Україна
2Інститут високих технологій КНУ імені Тараса Шевченка 4, проспект Академіка Глушкова, 03022 Київ, Україна
3ICTEAM, Université catholique de Louvain (UCLouvain) Louvain-la-Neuve, Belgium Е-mail: akapulko20@gmail.com

Анотація. Плівки оксиду графену (ОГ) було сформовано методом ультразвукового спрей-піролізу та досліджено із використанням спектроскопії комбінаційного розсіювання світла (КРС), атомної силової мікроскопії, імпедансної спектроскопії, вимірювань електричних характеристик. Досліджено вплив пари різних аналітів (води, етанолу, ацетону, аміаку та ізопропілу) на електричний опір та імпеданс структур Au/ОГ/Au. Показано, що взаємодія з усіма дослідженими аналітами призводить до росту опору зразків. Для етанолу, ацетону та ізопропілу цикли адсорбції та десорбції практично однакові. Цикли десорбції води та аміаку дуже слабкі, що свідчить про різні механізми адсорбції/десорбції порівняно з ацетоном та спиртами. Запропоновано механізм, що описує адсорбцію/десорбцію пари газів на поверхні плівки ОГ.

Ключові слова: оксид графену, спектроскопія комбінаційного розсіювання світла, метод ультразвукового спрей-піролізу, газовий сенсор.

Текст статті (PDF)


Назад до 22 (1)

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.