Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 24 (1), P. 5-15 (2021).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo24.01.005
Новітні можливості фазоваріаційної структурної діагностики багатопараметричних монокристалічних
систем з дефектами
1Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, Анотація.
Установлено принципово нові особливості та фізичну природу зумовлених ними можливостей
цілеспрямованого впливу взаємопов’язаних варіацій різних умов експерименту на зміни вибірковості
чутливості азимутальної залежності повної інтегральної інтенсивності динамічної дифракції до різних типів
дефектів у монокристалах. У результаті запропоновано вдосконалення і підвищено ефективність використання
розроблених авторами раніше “фазоваріаційних” принципів діагностики. Зокрема, на основі запропонованого
підходу встановлено наявність додаткових типів дефектів у досліджуваних монокристалах та визначено їх
параметри (розміри та концентрації). Одержані результати дозволили забезпечити додаткові чутливість та
інформативність фазоваріаційної структурної багатопараметричної неруйнівної діагностики монокристалічних
систем з дефектами декількох типів.
Ключові слова: динамічна дифракція, рентгенівське випромінення, фазоваріаційна діагностика, азимутальні
залежності, дефекти.
В.Б. Молодкін1,
В.Е. Сторіжко2,
В.П. Кладько3,
В.В. Лізунов1,
Г.І. Низкова1,
О.Й. Гудименко3,
С.Й. Оліховський1,
М.Г. Толмачов1,
С.В. Дмітрієв1,
І.І. Демчик1,
Є.І. Богданов1,
Б.І. Гінько1
36, бульвар Академіка Вернадського, 03142 Київ, Україна
2Інститут прикладної фізики НАН України,
58, вулиця Петропавлівська, 40000 Суми, Сумська область, Україна
3Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України,
41, проспект Науки, 03680 Київ, Україна
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.