Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 25 (1), P. 108-112 (2022).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo25.01.108
Кремнієва модельна структура повнофункціонального теплового фотоприймача
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Анотація.
Експериментально досліджено out-of-plane оптичні властивості комбінованої одно-двовимірної
фотонної структури гребінчастого типу на основі макропористого кремнію при освітленні поляризованим
нормально падаючим світлом. Досліджено технологічно просту квазіперіодичну структуру з паралельними
повітряними канавками у вигляді макропор, що взаємно перекриваються (одновимірна структура типу
повітря/Si), разом з макропорами, довільно розподіленими по площі кристала (двовимірна структура), у
порівнянні з розрахунковою одновимірною періодичною металевою ґраткою на кремнії. Показано, що така
комбінована фотонна структура повітря/Si має значну поляризаційну селективність і може бути основою для
розробки повнофункціонального out-of-plane теплового фотодетектора на макропористому кремнії.
Ключові слова: тепловий фотодетектор, макропористий кремній, поляризаційно чутливий прилад.
К.В. Андрєєва, Л.А. Карачевцева, К.П. Конін*, А.І. Ліптуга, О.О. Литвиненко, Д.В. Морозовська
41, проспект Науки, 03680 Київ, Україна
*Автор-кореспондент: e-mail: kpkonin@isp.kiev.ua
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.