Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 27 (1), P. 054-063 (2024).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo27.01.054
Вплив відпалу на повітрі на властивості плівок аморфного карбіду кремнію, збагаченого вуглецем
Анотація.
У роботі досліджено стабільність тонких плівок аморфного карбіду кремнію, збагаченого вуглецем, під впливом відпалів. Низькотемпературні відпали на повітрі при температурах до 700 °C було використано для моделювання робочих температурних умов для плівок у таких фотоелектронних пристроях, як сонячні елементи з просвітлюючими покриттями з карбіду кремнію. Досліджено плівки карбіду кремнію з різними співвідношеннями вуглець-кремній. Показано, що відпал на повітрі приводить до послідовного окиснення плівок карбіду кремнію з трансформацією в оксидні кремній-карбідні композити. Товщина, склад та оптичні властивості оксидних композитів змінювалися порівняно з відповідними характеристиками невідпалених плівок. При цьому плівки з більшим вмістом кремнію продемонстрували кращу стабільність оптичних властивостей при підвищених температурах. Під час відпалу збільшення товщини плівок унаслідок утворення оксиду кремнію конкурувало із процесом зменшення товщини завдяки утворенню та випаровуванню оксиду вуглецю.
Ключові слова:плівки аморфного карбіду кремнію, PECVD, відпал.
A.M. Лук’янов, M.Г. Душейко, В.Б. Лозінський, В.П. Темченко, В.Н. Дікуша, Н.I. Клюй
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.