Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 27 (1), P. 117-123 (2024).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo27.01.117


Оптичні та електричні властивості наноплівок оксиду цинку, нанесених за допомогою золь-гель методу
А.В. Федоренко, К.М. Божко, Н.В. Качур, А.В. Косяковський, В.П. Маслов

Анотація. Дану статтю присвячено дослідженню електричних властивостей наноплівок оксиду цинку (ZnO), отриманих золь-гель методом. Дослідні зразки представляють собою підкладку (25×25×1 мм) із мікроскопного скла марки «Волес» з нанесеними за допомогою золь-гель методу плівок ZnO товщиною в межах 50…150 нм. У ході досліджень було проведено спектральні вимірювання для розрахунку ширини забороненої зони, які підтвердили присутність оксиду цинку у наноплівках та показали їхню оптичну активність. Застосовано осцилографічний метод для вимірювання поверхневого опору наноплівок із застосуванням гальванічного еластичного контакта, що дозволило визначити їхню високу електричну якість та високий опір. Одночасно із цим було встановлено високу механічну міцність наноплівок відносно дії еластичного контакта, які витримували серію із 5…10 вимірювань без помітних змін величини опору. Також було проведено вимірювання зміни електричного опору плівок ZnO при їх нагріванні від 25 до 100 °C. Отримані результати свідчать про придатність цих наноплівок для застосувань у сферах електроніки, фотоелектроніки та сенсорних технологій.

Ключові слова:оксид цинку, золь-гель метод, наноплівка, спектр пропускання, поверхневий опір, еластичний гальванічний контакт.

Текст статті (PDF)


Назад до 27 (1)

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.