Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 21 (3), P. 282-287 (2018).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo21.03.282
Самоорганізоване вирощування кремнієвих нанониток за допомогою каталізованої золотом CVD-технології
А.І. Клімовська, Ю.Ю. Калашник, А.Т. Ворощенко, О.С. Оберемок, Ю.М. Педченко, П.М. Литвин
Анотація. Незважаючи на те, що було опубліковано велику кількість експериментальних досліджень по вирощуванню кремнієвих нанониток на підкладках кремнію за допомогою CVD-технології з використанням золота в ролі металу-каталізатора, до останнього часу відсутнє хороше розуміння взаємозв’язку режимів вирощування кристалів з важливими властивостями системи в цілому, хоча вона і уявляє собою найпростішу складову систему, таку як золото на кремнієвій підкладці. У поточних дослідженнях, щоб знайти найкращі умови для вирощування кремнієвих нанониток із заздалегідь визначеними властивостями на кремнієвій підкладці, ми вивчали різні технологічні режими – як утворення зародків росту, так і безпосередньо вирощування кремнієвих нанониток.
Ключові слова: кремнієві нанонитки, самоорганізоване вирощування, CVD-технологія.
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.