Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 23 (4), P. 361-365 (2020).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo23.04.361
Вплив електрично нейтральних атомів нікелю на електричні та рекомбінаційні параметри кремнію
1Tashkent State Technical University Анотація.
За результатами цього дослідження показано, що створення кластерів з домішкових атомів нікелю майже повністю пригнічує генерацію теплових донорів у діапазоні температур
450–1200 °C. Склад цих клас-терів визначали за допомогою методу енергетично-дисперсійної рентгенівської спектроскопії. Виявлено, що типовий кластер складається з атомів кремнію
(65%), нікелю (15%) та кисню (19%). На основі експеримен-тальних результатів автори припустили, що атоми нікелю інтенсивно виконують роль геттера для атомів кисню в процесі кластеризації.
Показано, що додаткове легування кремнію нікелем при Т = 1100–1200 °С дозволяє забезпечити досить високу термостабільність його електричних параметрів у широкому діапазоні температур.
Ключові слова: кластери атомів нікелю, час життя, дифузія, теплові донори, термостійкість, електричні параметри, геттерінг.
M.K. Bakhadyrkhanov1,
B.K. Ismaylov2,
S.A. Tachilin1,
K.A. Ismailov2,
N.F. Zikrillaev1
100095, Uzbekistan, Tashkent, Universitetskaya str. 2,
E-mail: bahazeb@yandex.com
2Karakalpak State University named after Berdakh, Uzbekistan
230112, KAR, Nukus, Ch. Abdirov str., 1
E-mail: i.bairam@bk.ru
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.