Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 22 (3), P. 338-342(2019).
DOI: https://doi.org/10.15407/spqeo22.03.338
Мюллер-поляриметрія острівцевих золотих плівок
О.В. Макаренко1, А.Л. Ямпольський1, В.В. Лендьєл1, Л.В. Поперенко1, В.О. Лисюк2
2Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України,
41, проспект Науки, 03680 Київ, Україна
E-mail: uv365nm@ukr.net
Анотація. Розглянуто проблему контролю морфології острівцевих плівок золота методом оптичної кутової Мюллер-поляриметрії. Виготовлено та досліджено серію зразків таких плівок з різною кількістю напиленого металу. Опорний контроль їх структури здійснено шляхом атомно-силової мікроскопії та вимірювання питомого опору. У даній роботі розглядається лише 4 елементи верхнього лівого мінора матриці Мюллера. Показано, що є чітка кореляція цих елементів з кількістю напиленого металу. Два діагональних елементи збільшуються зі зростанням металевого шару, а інші два демонструють при цьому немонотонну поведінку. Залежності від кута падіння світла у діагональних елементів монотонні, а у недіагональних – ні. Запропоновано пояснення одержаних результатів особливостями розсіяння при переході перколяційного порога острівцевої плівки золота.
Ключові слова:поляриметрія, матриця Мюллера, атомно-силова мікроскопія, датчик.
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.