Анотація. У роботі повідомлено, що за допомогою методу ІЧ-спектроскопії було виявлено, що атоми нікелю в кремнієвій решітці зібрані в кластери, тобто відбувається явище самоорганізації. Концентрація і розмірність кластерів в основному визначаються температурою дифузії і швидкістю охолодження. Визначено склад кластерів домішкових атомів нікелю. Показано, що в процесі термічного відпалу в діапазоні температур 650… 900 °С відбувається суттєва зміна стану, концентрації та розміру кластерів. Термічний відпал при вищезгаданих температурах 650…900 °С призводить до упорядкування кластерів, тобто до самоорганізації кластерних блоків, а також блоків кластерів у формі петлі, що містять кілька десятків кластерів. Запропоновано методику дифузії для формування і упорядкування кластерів атомів нікелю в кремнії.

Ключові слова: кремнієва решітка, кластер, атоми нікелю, відпал, дифузія, самоорганізація, наноструктура.

Текст статті (PDF)

Посилання

Назад до 21 (4)